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真空干燥的過程是被干燥物料置放在密封的筒體內，在真空系統抽真空的同時對被干燥物料不斷加熱，使物料內部的水分通過壓力差或濃度差擴散到表面，水分子在物料表面獲得足夠的動能，在克服分子間的相互吸引力后，逃逸到真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走的過程。真空干燥其有以下特性：
(1) 真空干燥的過程中，干燥室內的壓力始終低于大氣壓力，氣體分子數少，密度低、含氧量低，因而能干燥容易氧化變質的、易燃易爆物的物料等，對藥品、食品和生物制品能起到一定的消毒滅菌作用，可以減少物料染菌的機會或者防止某些細菌的生長；
(2) 由于水在汽化過程中其溫度與蒸汽壓力成正比，故真空干燥時物料中的水分在低溫下就能汽化，可以實現低溫干燥，這對于有些藥品、食品等產品中熱敏性物料的干燥是有利的。另外低溫下干燥，對熱能的利用率是合理的；
(3) 真空干燥可消除常壓下熱風干燥易產生的表面硬化現象，這是由于真空干燥時物料內部和表面之間壓差大，在壓力梯度作用下，水分很快移向表面，不會出現表面硬化。同時，能提高干燥速率，提高干燥時間，降低設備運轉費用；
(4) 由于真空干燥時，物料內和外部之間溫度梯度小，逆滲透作用使得溶媒能夠獨自移動并收集，有效克服熱風干燥所產生的溶媒失散現象。也只有真空干燥才能實現意義上的回收溶媒，具有環保效應。
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